小型电阻蒸发镀膜仪

1.腔室尺寸：Ф246×228mm（具体尺寸以设计为准），1Cr18Ni9Ti**不锈钢材质，氩弧焊接；整体可置于手套箱内；

2.样品台尺寸：可拆卸式，尺寸60×60mm，旋转：0-20r/min可调；基片可加热至300±1℃（选配）

3.真空系统：机械泵（TRP-12,3L/s）+Pfeiffer分子泵(Hipace80,67L/s)；GDC-25b电磁挡板阀；

4.极限真空：8.0×10-5Pa；

5.真空抽速：大气～8×10-4Pa≤30min；

6.真空测量：全量程复合真空计，测量范围：105Pa～10-5Pa；

7.蒸发源：3组水冷式电阻蒸发源，3组间可切换，源间有防污板；

           8.蒸发电源：直流蒸发电源1台，0 W～2000W连续可调，供3组蒸发源切换使用；

           9.膜厚控制系统：进口Inficon SQM-160单水冷探头，控制精度0.1Å；

1010.控制方式：PLC+触摸屏智能控制系统，具备漏气自检与提示、通讯故障自检、保养维护提示等功能；

11         11.设备外形：L60cm×W60cm×H80cm机电一体化机架，预留1个CF35法兰接口；

12.设备供电总功率≤2KW，220V，单相三线制（一火一零一地）；

1313.冷却循环系统：水压0.2～0.4MPa，水温10～25℃，给设备相关需水冷部件提供稳定的制冷水；