蒸发镀膜设备成膜不均的原因

随着镀膜技术的发展，各种真空蒸发镀膜设备逐渐出现。无论哪种真空蒸发镀膜设备，薄膜的均匀性都会受到一些因素的影响。现在，我们用磁控溅射镀膜机来分析成膜不均匀的因素。涂布机泵送不均匀会影响涂布均匀性。基底干净很重要。真空镀膜前，应仔细清洁基材表面，以达到工件除油、去污、脱水的目的。基材表面污染来源于各种灰尘、油脂、抛光膏、汗渍等。在加工和运输过程中附着在零件上。在潮湿的环境中，基材表面容易氧化，形成氧化膜吸收气体。这些污垢可以通过除油或化学方法来清除。干净的基板不应直接放在外面，而应储存在封闭的容器中，以减少污染。灰尘会堆积在涂装室，所以清洁涂装室，烘烤和脱气，并将机器放置在干净的环境中。注意扩散泵的回油。涂料的原料有很多，如树脂、有机硅、硅酸、聚合物等。辅料配比和配方不同，薄膜也不同。
涂布机的热蒸发系统主要是指成膜装置。涂布机中有许多成膜装置，包括电阻加热、电子枪蒸发、磁控溅射、射频溅射、离子镀等。我们将介绍电阻加热和电子枪蒸发这两种方法，因为这两种方法被我们广泛使用。从其结构和工作原理来看，蒸发镀膜设备的电阻蒸发是目前应用较广泛的蒸发方式，也是应用时间较长的蒸发方式。
它的工作方式是将钨片制成舟，然后安装在两个电极之间，在舟的中心加入药材，然后慢慢给电极通电。电流通过船，船通电加热。这些低电压和高电流使得具有高熔点的舟产生热量，然后热量被传导到涂层材料。当舟的热量高于涂层材料的熔点时，材料会升华或蒸发。该方法操作方便，结构简单，成本低廉，易于使用。当钨舟蒸发涂层材料时，材料的熔点必须低于钨舟的熔点，否则无法进行。
真空蒸发镀膜设备为什么要配冷水机？
这要从真空蒸发镀膜设备的工作原理来看:膜料在高温下蒸发，落到工件表面结晶。因为空气会对蒸发的薄膜分子产生阻力，从而引起碰撞，使晶体变得粗糙、暗淡，所以需要在高真空下使晶体变得细小、光亮。真空度不高，晶体会失去光泽，结合力差。冷水机组配有制冷系统和冷却水循环系统，水温可在5℃ ~ 30℃范围内调节控制，可达到高精度、高效率控温的目的。冷却原理是:冷却系统将水冷却，然后低温冷却水由水泵送至真空镀膜机冷却。水冷器的冷冻水带走热量，升温后流回水箱，达到冷却效果。